Статьи наших авторов
Численное моделирование спектров резерфордовского обратного рассеяния ионов от многослойных многокомпонентных мишеней
- Категория: Статьи авторов
- Создано: 15.01.2016, 11:39
- Просмотров: 590
Кибардин А. В. Численное моделирование спектров резерфордовского обратного рассеяния ионов от многослойных многокомпонентных мишеней/ Проблемы современной науки и образования № 01 (43), 2016 { см. журнал}
Кибардин Алексей Владимирович / Kibardin Alexey Vladimirovich - кандидат физико-математических наук, доцент,
кафедра вычислительной техники, Физико-технологический институт,
Уральский федеральный университет им. первого Президента России Б. Н. Ельцина, г. Екатеринбург
Аннотация: в работе рассматриваются вопросы численного моделирования спектров резерфордовского обратного рассеяния ионов в тонких пленках.
Abstract: the work deals with the numerical modeling of the spectra of Rutherford backscattering of ions in thin films.
Ключевые слова: тонкие пленки, ион, упругое рассеяние, спектры, математическое моделирование.
Keywords: thin films, ion elastic scattering spectra, mathematical modeling.
Литература
1. Тонкие пленки. Взаимная диффузия и реакции. Под редакцией Поута Дж., Ту К., Мейера Дж. М.: Мир. 1982. 576 с.
2. Chu W. K., Mayer J. W., Nicolet M. A. Backscattering spectromety. N.-Y.:Academic Press. 1978. 384 p.
3. Шипатов Э. Т. Обратное рассеяние быстрых ионов. Ростов. Изд-во Ростовского гос. университета.1988. 154 с.
4. Кибардин А. В. Изменение профилей концентрации атомов в тонкопленочных структурах Me-Si при тепловом и радиационном воздействиях.: Дисс... канд. физ.-мат. наук. Екатеринбург.: УГТУ. 1996.
Поделитесь данной статьей, повысьте свой научный статус в социальных сетях
| Tweet |
