Физико-математические науки
Совместная обработка спектров резерфордовского обратного рассеяния ионов и индуцированного ионами характеристического рентгеновского излучения от тонких пленок / Joint analysis of the spectra of Rutherford backscattering of ions and ion-induced characteri
- Категория: 01.00.00 Физико-математические науки
- Создано: 16.03.2016, 13:57
- Просмотров: 976
Кибардин Алексей Владимирович / Kibardin Alexey - кандидат физико-математических наук, доцент, кафедра вычислительной техники, Физико-технологический институт, Уральский федеральный университет имени первого Президента России Б.Н. Ельцин, г. Екатеринбург
Аннотация: в работе рассматриваются вопросы совместной регистрации и обработки спектров резерфордовского обратного рассеяния ионов и характеристического рентгеновского излучения, индуцированного падающими на мишень ионами, с целью проведения количественного анализа состава тонких пленок.
Abstract: the questions of the joint registration and processing of spectrums ion Rutherford backscattering and characteristic x-ray-induced drop onto the target ions, in order to conduct quantitative analysis of thin films.
Ключевые слова: тонкие пленки, ионы, упругое рассеяние ионов, характеристическое рентгеновское излучение, энергетические спектры, количественный анализ, элементный состав.
Keywords: thin film, ions, ion elastic scattering, x-ray emission characteristic energy spectra, quantitative analysis of elemental composition.
Литература
- Chu W. Backscattering spectromety. N.-Y.:Academic Press.
- Кибардин А. В. Изменение профилей концентрации атомов в тонкопленочных структурах Me-Si при тепловом и радиационном воздействиях: Дисс... канд. физ.-мат. наук. Екатеринбург: УГТУ. 1996.
- Вольдсет Р. Прикладная спектрометрия рентгеновского излучения. М.., 1977. С. 215.
- Муминов В. А., Хайдаров Р. А. Рентгенофлуоресцентный анализ возбуждением ускоренными легкими ионами. Ташкент, 1980. С. 272.
- Коляда В. М, Зайченко А. К., Дмитриенко Р. В. Рентгеноспектральный анализ с ионным возбуждением. М.., 1978. С. 247.
Поделитесь данной статьей, повысьте свой научный статус в социальных сетях
Tweet |