Физико-математические науки

Совместная обработка спектров резерфордовского обратного рассеяния ионов и индуцированного ионами характеристического рентгеновского излучения от тонких пленок / Joint analysis of the spectra of Rutherford backscattering of ions and ion-induced characteri

Кибардин Алексей Владимирович / Kibardin Alexey - кандидат физико-математических наук, доцент, кафедра вычислительной техники, физико-технологический институт, Уральский федеральный университет имени первого Президента России Б. Н. Ельцина, г. Екатеринбург

Аннотация: в работе рассматриваются вопросы совместной регистрации и обработки спектров резерфордовского обратного рассеяния ионов и характеристического рентгеновского излучения, индуцированного падающими на мишень ионами, с целью проведения количественного анализа состава тонких пленок.

Abstract: the questions of the joint registration and processing of spectrums ion Rutherford backscattering and characteristic x-ray-induced drop onto the target ions, in order to conduct quantitative analysis of thin films.

Ключевые слова: тонкие пленки, ионы, упругое рассеяние ионов, характеристическое рентгеновское излучение, энергетические спектры, количественный анализ, элементный состав.

Keywords: thin film, ions, ion elastic scattering, x-ray emission characteristic energy spectra, quantitative analysis of elemental composition.

Литература

1. Chu W. Backscattering spectromety. N.-Y.:Academic Press.
2. Кибардин А. В. Изменение профилей концентрации атомов в тонкопленочных структурах Me-Si при тепловом и радиационном воздействиях: Дисс... канд. физ.-мат. наук. Екатеринбург: УГТУ. 1996.
3. Вольдсет Р. Прикладная спектрометрия рентгеновского излучения. М.., 1977. С. 215.
4. Муминов В. А., Хайдаров Р. А. Рентгенофлуоресцентный анализ возбуждением ускоренными легкими ионами. Ташкент, 1980. С. 272.
5. Коляда В. М, Зайченко А. К., Дмитриенко Р. В. Рентгеноспектральный анализ с ионным возбуждением. М.., 1978. С. 247.

Поделитесь данной статьей, повысьте свой научный статус в социальных сетях