Физико-математические науки
Кибардин Алексей Владимирович / Kibardin Alexey - кандидат физико-математических наук, доцент, кафедра вычислительной техники, физико-технологический институт, Уральский федеральный университет имени первого Президента России Б. Н. Ельцина, г. Екатеринбург
Аннотация: в работе рассматриваются вопросы совместной регистрации и обработки спектров резерфордовского обратного рассеяния ионов и характеристического рентгеновского излучения, индуцированного падающими на мишень ионами, с целью проведения количественного анализа состава тонких пленок.
Abstract: the questions of the joint registration and processing of spectrums ion Rutherford backscattering and characteristic x-ray-induced drop onto the target ions, in order to conduct quantitative analysis of thin films.
Ключевые слова: тонкие пленки, ионы, упругое рассеяние ионов, характеристическое рентгеновское излучение, энергетические спектры, количественный анализ, элементный состав.
Keywords: thin film, ions, ion elastic scattering, x-ray emission characteristic energy spectra, quantitative analysis of elemental composition.
Литература
Tweet |